半导体行业洁净度粒子在线检测仪/在线尘埃粒子计数器

在半导体制造过程中，悬浮粒子的存在对产品质量产生负面影响。为确保制造环境始终处于最佳状态，洁净室环境需进行实时监控。监控参数包括空气洁净度、温度、湿度及压差等，一旦发现环境异常，需立即采取措施进行调整。通过科学合理的操作和管理，可确保半导体制造过程的高品质和高效率，为制造高品质的半导体产品提供有力保障。洁净室的主要功能是控制微粒污染，确保制造环境的洁净度在制造所需环境值内。对于Fab厂而言，通常按照ISO 14644-1的标准来建立洁净室。该标准详细规定了洁净室的等级划分和微粒控制要求。洁净室通常被分为一级、二级、三级到九级等多个等级，等级数越低，意味着洁净室内的颗粒浓度越低，环境更为清洁。

 

洁净度等级是否满足生产工艺的需求，需要借助性能稳定、测量精准度高的洁净度粒子检测仪（尘埃粒子计数器）做为判定。

 

 

不同制造过程在MEMS厂中对应的洁净度要求是通过根据ISO 14644标准来分类和评估的，以确保制造过程中的高质量和可靠性。以下是各制程洁净度要求的简要概述和操作建议：

光刻车间洁净度要求：光刻车间作为关键工艺步骤，其洁净度等级需达到ISO 14644-1标准中的Class 5（百级）或更高级别。操作建议定期维护和清洁车间，确保空气过滤系统有效运行，减少空气中的微粒和污染物。工作人员在进入光刻车间前，应穿戴洁净的工作服和鞋套，避免带入外部污染。对光刻机和其他关键设备进行定期维护和校准，确保其处于最佳工作状态。

沉积/刻蚀车间洁净度要求：沉积和刻蚀工艺同样要求较高的洁净度，其洁净度等级通常需达到ISO 14644-1标准中的Class 5（百级）至Class 6（千级）级别。对车间内的沉积和刻蚀设备进行定期清洁和维护，确保设备表面无污染物。严格控制进入车间的物料和化学品，避免带入杂质。

清洗车间洁净度要求：清洗车间的洁净度要求通常需达到ISO 14644-1标准中的Class 5（百级）至Class 6（千级）级别。

封装车间洁净度要求：封装车间的洁净度要求相对较低，其洁净度等级通常需达到ISO 14644-1标准中的Class 6（千级）至Class 7（万级）。

测试车间洁净度要求：测试车间的洁净度要求相对较低，通常需达到ISO 14644-1标准中的Class 7（万级）或更低级别。

一、半导体行业洁净度粒子在线检测仪

洁净度粒子在线检测仪是一款专业设备，采用先进的激光散射原理，能够实时检测并记录空气中尘埃粒子的数量和粒径分布。通过在洁净室内设置采样点，将空气吸入设备内部，利用光学或激光原理对空气中的尘埃粒子进行计数和粒径分析，实现洁净室环境的实时监测和精准控制。

 

1、洁净度粒子在线检测仪功能特点要求

1.实时监测：能够实时显示洁净室内尘埃粒子的数量和粒径分布，提供连续、准确的监测数据。

2. 远程监控：通过RJ45网络接口、WiFi、485（Modbus）等通信方式，实现远程数据传输和监控，方便管理人员随时掌握洁净室环境状况。

3. 超限报警：当洁净室内尘埃粒子数量超过设定阈值时，设备自动发出报警信号，提醒操作人员及时采取措施进行调整。

4. 多通道采样：支持同时对多个通道的粒径进行采样监控，满足不同洁净度等级的需求。

5.  易于维护：结构设计合理，易于清洁和维护，降低运维成本。

洁净度粒子在线检测仪技术规格要求

光    源

日本进口半导体激光光源

粒径通道

0.3μm,0.5μm,1.0μm,3.0μm,5.0μm,10.0μm（可非标定制粒径通道）

测量范围

ISO14644-1标准(4级～9级），FS209标准（10级～100万级），

GMP2010标准（A级～D级），GB/T16292-2010（10级～30万级）

采样流量

2.83升/分（0.1cfm）（误差≤±5%）

重复性相对误差

＜±10%（国标）

粒子浓度示值误差

＜±30%（国标）

真空源

内置独立真空泵（德国进口托玛斯真空泵）

执行标准

GB/T 25915.1-2021（洁净室及相关受控环境）

GB/T 29024.4-2017/ISO 20501-4:2007（粒度分析单颗粒的光学测量方法）

ISO 14644-1：2015 （洁净室和相关受控环境）

GB/T 16292-2010（医药工业洁净室（区）悬浮粒子的测试方法）

FDA 21 CFR part 11

测量方式

自动、手动

显示方式

4.3寸触摸屏

数据存储

1000组（循环覆盖）

测量模式

浓度（pcs/L，pcs/m3，pcs/ft3)、累计、差分

采样时间

1秒～180小时（用户自行选择设定）

自动测量间隔时间

1～60分（用户自行设定）

通信协议

标准Modbus RTU协议，默认19200波特率（可改）

通讯方式

无线（Loar、WIFI、4G三选一）、有线（RS485或RJ45）

工作环境

5～45℃，＜90%RH

储藏环境

-20～60℃, ＜90%RH

外形尺寸

65（W）×156（H）×120（D）mm（不含配件）

重量

约650克（不含配件、选配功能）

电源

AC适配器（输入：180V～240V，输出：12V/2000mA)

标准附件

等动力采样头、电源适配器、出厂测试报告

选配件（功能）

温湿度、压差、风速、上位机软件

温湿度功能

选配，测量范围：-40～120℃，0～100%RH，测量精度：±0.3℃，±3%RH

压差功能

选配，美国进口压差传感器，测量范围：-100～100Pa,精度：±1.0%FS

风速功能

选配，测量范围：0～5M/S，精度：0.2±3%FS

2、洁净度粒子在线检测仪产品特点要求

◎ 日本进口激光器，高精度传感器，检测精准，性能卓越，使用寿命长

◎ 内置独立采样泵（德国进口托马斯气泵），流量稳定、噪声低、性能可靠、监测更精准

◎ 4.3寸触摸屏，可单独本地启停

◎ 实时监测并显示0.3，0.5，1.0，3.0，5.0，10.0μm六个粒径通道粒子数

◎ 支持pcs/L、pcs/m³、pcs/ft³、累积、差分单位切换

◎ 自动测量，监测数据实时显示，超限报警提醒、数据存储等

◎ 无线（Loar,WIFI,4G三选一）、有线（RS485、RJ45可同时具有）多种通信方式可选

◎ 可选配温湿度、压差、风速、露点等功能同时监测，可扩展声光报警功能

◎ 标准Modbus协议，便于二次开发集成接入系统或监测设备

◎ 操作简单，体积小，重量轻，壁挂式，安装方便……

3、洁净度粒子在线检测仪适用场景要求

本洁净度粒子在线检测仪适用于半导体行业的各种洁净室环境，如光刻车间、沉积/刻蚀车间、清洗车间、封装车间和测试车间等。不同车间对洁净度的要求不同，本检测仪可根据具体需求进行定制，以满足不同洁净度等级的检测需求。

二、半导体行业洁净车间温湿度传感器

半导体制造过程中，温湿度也是影响其质量的因素之一，因此需要将洁净室的温湿度控制在一定的范围内。通常情况下，半导体洁净室的温度应控制在22±2℃，湿度应控制在55±5%的范围内。为了实现这一目标，洁净室内应安装温湿度传感器，实时监测温湿度的变化。当温湿度超出设定范围时，同样需要启动报警系统，以便工作人员及时采取措施调整温湿度。

三、半导体行业洁净车间压差控制标准

洁净室与室外的静压差：为了确保洁净室内的空气不会因外部压力波动而受到影响，洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。这一标准有助于防止外部空气中的尘埃、微生物等污染物通过门窗缝隙等进入洁净室。

不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差：为了防止低洁净度区域的空气或污染物进入高洁净度区域，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。这一标准有助于维持洁净室内各区域的空气质量和生产环境的稳定性。

压差监测系统的实现，为了实现洁净室的压差监测，在洁净室的出入口、不同洁净度区域的交界处等关键位置安装压差传感器，实时监测各区域的压差变化。设置报警系统：当压差传感器检测到压差低于设定值时，应启动报警系统，及时通知工作人员采取措施进行调整。这可以确保在压差异常时能够迅速响应，防止污染物进入洁净室。