中国狂买 “过时” 光刻机，美国专家惊出冷汗：他们在下一盘大棋！ 信源：环球时报——外媒:中国正在大举采购 在全球科技博弈的棋盘上，光刻机始终是块关键棋子。美国对中国的技术封锁，在这一领域表现得尤为直白 他们只愿向中国出口采用 DUV 技术的深紫外光刻机，这套被视作 “过时货” 的设备，本是美方遏制中国芯片产业升级的手段，妄图用技术代差捆住中国前进的脚步。 可他们没算到，中国企业不仅大买特买这些 DUV 设备，更悄悄将其变成了破解技术壁垒的 “钥匙”。 科研人员把设备拆开、研究、逆向学习，在一个个精密部件的钻研里，硬生生蹚出了自主研发的路子，这步暗棋，让美国专家克里斯・米勒直言 “后背发凉”。
回溯过往，美国为卡断中国光刻机发展的路，手段层层加码。 2018 年那阵，特朗普政府就盯上了荷兰阿斯麦公司 —— 这家手握顶尖 EUV 极紫外光刻机技术的企业，当时中芯国际已订购两台 EUV 设备，却被美方横插一脚。 时任美国国务卿蓬佩奥亲自飞赴荷兰游说，甚至拿出所谓 “机密情报” 渲染风险，逼着荷兰政府不给阿斯麦续期出口许可证，两台价值 1.5 亿美元的设备至今没能送到中国。 到了 2023 年，美国又搬出《外国直接产品规则》搞长臂管辖，以阿斯麦设备含美国技术为由，彻底禁了 EUV 对中国的出口； 今年更是变本加厉，连之前 “放行” 的 DUV 光刻机，也想纳入限制范围，就是不想让中国在半导体设备上有半点突破。
可封锁越严，中国科研人员的劲头越足。拆解开的 DUV 光刻机里，每一个齿轮、每一束光源都成了学习的样本。 中芯国际正是凭借这项从 DUV 光学系统钻研中诞生的技术，用本被视作 “过时” 的设备量产 7 纳米芯片，搭载该芯片的华为 Mate60Pro 上市即售罄；
而在芯片制造的辅助环节，国内企业通过拆解 DUV 的精密传动结构，研发出自主可控的 “硅片台，如今国产硅片台的定位精度已达纳米级，适配多款国产 DUV 设备；
更关键的是光源技术，通过分析 DUV 光刻机的准分子激光光源，科研团队突破了高功率氟化氩激光发生器的技术瓶颈，国产光源的使用寿命从最初的 1000 小时提升至 1.5 万小时。
除此之外，中国自主研发的氟化氪、氟化氩光刻机接连问世，其中氟化氩光刻机 193 纳米的光源波长，能实现 65 纳米以下的分辨率和 8 纳米以内的套刻精度。 这意味着国内 28 纳米工艺芯片的量产有了国产设备支撑，半导体产业 “卡脖子” 的口子被撕开一道缝。 这些突破远不止是多了几台设备那么简单。它让中国半导体产业摆脱了 “别人给什么就用什么” 的被动 更培育出了一批能啃硬骨头的科研团队和企业，从核心部件到整体设备，产业链条一点点补全，自主创新的底气越来越足。 如今再看，即便阿斯麦在美方压力下不断收紧出口限制，中国也再没了当初的慌神。毕竟自己手里有了技术，心里就有了底，所谓的 “禁售”，反倒成了国产设备加速替代的推动力。
而这样的故事，在中国制造向中国创造迈进的路上，早已不是第一次上演。
美国曾试图用芯片、操作系统 “卡” 华为的脖子，可禁令下达后，华为联合国内企业埋头攻关，国产芯片一步步突破制程限制，搭载国产芯片的 5G 手机重新回到市场； 鸿蒙操作系统从手机端延伸到电脑端，实现了从内核到应用的全栈自主可控，再也不用看别人脸色。 从当年的 “两弹一星”，到如今的载人航天、国产大飞机、量子计算，哪一次不是在外部封锁的压力下，靠着自己的力量闯出一条路来？ 如今的中国，人工智能、无人机、新能源这些新兴领域里，中国企业也从跟跑者变成了并跑者，甚至在不少领域成了领跑者。 美国总想用 “小院高墙” 把中国挡在科技进步的门外，可事实一次次证明，封锁从来不是中国科技的终点，反倒是激发创新活力的起点。 毕竟，中国人骨子里就有股不服输的劲，越被限制，就越要突破，这条逆势生长的路，中国不仅走通了，还会越走越宽。
