光刻机是半导体产品制造最重要的设备，被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”，制造和维护均需要高度的光学和电子工业基础。近年来，中国的半导体产业发展迅猛，对光刻机的需求量不断增加。然而，国内光刻机产能仍然相对不足，无法满足市场的需求。因此，中国不得不依赖进口来满足光刻设备的需求。

一、光刻机进口报关单证资料

1、原产地证2、装运前检验证书3、外观及铭牌照片4、木质包装熏蒸证明

5、箱单、发票、合同、提单等

二、光刻机进口报关手续流程1、确认光刻机海关编码和进口关税税率2、提前准备好光刻机进口所需资料3、国际段运输（空运/海运）4、到港换单5、进口申报、审价6、海关出税单，缴纳税金7、海关查货8、放行货物9、目的地查验

三、光刻机进口报关运输注意事项

1、光刻机为精密仪器，全程运输环境需要保持恒温恒湿，提货车辆减震系数要求严格，需要用恒温气垫车运输。2、机器精密度要求极高，可以在装运前对机器进行木架保护操作，甚至可以密封起来；3、实木包装要有IPPC标识或提供熏蒸证明，注意码头的合理性，根据送货地址选择合适港口；