这期批注的是东京应化(TOK)2025 年 9 月公开的专利(特開2025-138538)。日文原文在图里。
三个发现(含我的判断):
① 双雄押题分叉:信越(第 1 期)把 LER 放前面,TOK 把「感度」列第一——感度是 EUV 胶的生死线。TOK 押的是 EUV 产线,这是它和信越最大的战略差。
② 这份专利最领先的一步:把氟(三氟甲基)写进酸产生剂。氟让胶对 EUV 光更透明——行业里敢这么设计的没几家。
③ 化学放大路线本身不领先(1980 年代 IBM 发明,双雄都是学生)——真正领先的,是在这条路上跑了四十年,把咒语念到小数点后三位。
个人观点:双雄之争的本质:信越守着 KrF 基本盘,TOK 全面押注 EUV(2026 年 2 月刚投英国的 MTR 公司)。这个分叉 2-3 年内见分晓——EUV 胶的量产订单落给谁,谁就是下一代光刻胶之王。我的判断:TOK 领先半个身位,但信越的产能底子更厚。
原文来源:東京応化工業 特開2025-138538,图末有完整出处,可自行查证。
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