PSM相移掩膜概念股全梳理（PSM=Phase-Shift Mask 相移掩模版，先进光刻核心掩膜，28-130nm制程刚需）

一、掩膜版整机制造（核心PSM厂商，第一梯队）

1. 清溢光电国内半导体掩膜龙头，佛山基地建设高端PSM产线；布局28/40/130nm衰减型相移掩膜，先进封装PSM已送样长电、通富；同步布局HTM半透掩膜，国内少数具备完整PSM研发、镀膜、检测全流程能力企业。

2. 路维光电显示+半导体双线PSM布局，已量产TFT、OLED面板用ATT-PSM；完成Mosi双层相移层工艺研发，2026年推进半导体晶圆级PSM客户验证，面板端PSM已批量供货面板厂。

3. 龙图光罩国内独立半导体掩膜厂商，已拉通130nm制程PSM全流程工艺，功率半导体、模拟IC客户送样验证；珠海产线规划扩产KrF/ArF配套相移掩膜，2025年实现PSM产品小批量销售。

4. 聚和材料11亿投建上海高端PSM空白掩膜基板基地，收购韩国SK高端掩膜技术，切入DUV-ArF/KrF光刻空白掩膜基板，填补国内高端PSM基材空白，规划年产4万片高端基板产能。

二、PSM上游核心原材料（基板/相移层材料）

5. 菲利华高纯石英基板龙头，PSM掩膜核心基底材料供应商，供给国内掩膜厂商石英光掩膜基板，适配KrF、i线光刻相移掩膜基材，纯度、平整度满足高端PSM标准。

6. 江丰电子高纯靶材龙头，供应PSM遮光层铬靶、相移层MoSi钼硅靶材；MoSi是衰减型PSM核心相移薄膜材料，国内唯一批量供应掩膜厂的国产MoSi靶材厂商。

三、光刻配套材料（匹配PSM高端光刻工艺）

7. 南大光电ArF/KrF光刻胶龙头，28nm先进制程光刻胶批量供货；PSM掩膜配套高端光刻工艺，晶圆厂28nm关键层光刻与PSM掩膜绑定验证，深度受益先进制程扩产。

8. 彤程新材KrF光刻胶量产落地，配套国内晶圆厂90/130nm产线，该制程为PSM掩膜最大应用场景；同步布局掩膜清洗、光刻配套湿化学品，适配PSM全流程制造。

四、掩膜检测/设备配套（PSM生产必备设备）

9. 芯碁微装掩膜版激光修复、检测设备，高端PSM相移掩膜缺陷修复核心设备，国内头部掩膜厂清溢、龙图光罩设备供应商，支撑PSM良率提升。

10. 茂莱光学高精度光学镜头、掩膜检测光学模组，PSM光刻曝光、掩膜缺陷检测核心光学元器件，适配DUV光刻配套相移掩膜检测设备。

行业核心催化逻辑

1. 先进制程刚需：90/130/28nm成熟逻辑、存储、功率芯片制造必须使用PSM相移掩膜，提升光刻分辨率与良率，单块PSM价格是普通二元掩膜3-5倍，附加值极高；

2. 国产替代空间巨大：当前国内PSM市场90%依赖日本HOYA、韩国LG Innotek，国内晶圆厂扩产倒逼供应链本土化；

3. 面板高端化带动：OLED、Mini LED高精细面板光刻同样使用PSM掩膜，面板厂商验证节奏更快，短期贡献增量；

4. 大基金持续扶持：高端掩膜、石英基板、MoSi靶材均为半导体补链重点方向，产能建设获得政策资金支持。

风险提示

1. 国内PSM整体处于验证/小批量阶段，良率、产能尚未大规模释放，短期业绩贡献微弱；

2. 海外龙头技术壁垒深厚，客户认证周期1-2年，替代进度不及预期；

3. MoSi相移层、高端石英基板原材料仍存在部分进口依赖；

4. 高端掩膜设备投入巨大，持续研发开支压制利润。

⚠️仅产业链技术梳理，不构成投资建议，国内PSM大多处于客户验证、小规模量产阶段，短期业绩