半导体设备ETF（561980）成立于2023年8月21日，基金全称为招商中证半导体产业交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为招商中证半导体产业ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率。

规模方面，截止2月12日，半导体设备ETF（561980）最新份额为15.31亿份，最新规模为35.15亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF（561980）份额为12.50亿份，规模为25.43亿元。即该基金今年以来份额增加22.48%，规模增加38.23%。

流动性方面，截止2月13日，半导体设备ETF（561980）近20个交易日累计成交金额50.62亿元，日均成交金额2.53亿元；今年以来，30个交易日，累计成交金额87.16亿元，日均成交金额2.91亿元。

半导体设备ETF（561980）现任基金经理为房俊一。房俊一自2025年3月20日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益72.71%。

最新定期报告显示，半导体设备ETF（561980）重仓股包括中微公司、北方华创、寒武纪、中芯国际、海光信息、拓荆科技、长川科技、华海清科、中科飞测、南大光电，持仓占比如下。

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688012中微公司14.51%135.28万3.69亿002371北方华创13.98%77.43万3.55亿688256寒武纪9.27%17.39万2.36亿688981中芯国际7.83%162.19万1.99亿688041海光信息6.66%75.48万1.69亿688072拓荆科技6.49%50.05万1.65亿300604长川科技5.26%132.12万1.34亿688120华海清科4.34%73.62万1.10亿688361中科飞测3.75%62.41万9547.71万300346南大光电3.47%205.51万8816.55万