2月13日，截止午间收盘，半导体设备ETF广发（560780）涨2.05%，报2.039元，成交额1.29亿元。半导体设备ETF广发（560780）重仓股方面，北方华创截止午盘涨3.39%，中微公司涨0.77%，拓荆科技涨3.86%，长川科技涨2.50%，沪硅产业涨0.24%，华海清科涨2.47%，中科飞测涨2.60%，南大光电涨0.89%，安集科技涨0.09%，芯源微涨3.64%。

半导体设备ETF广发（560780）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为广发基金管理有限公司，基金经理为吕鑫，成立（2023-12-01）以来回报为99.82%，近一个月回报为-0.43%。