2月2日，半导体设备ETF（159516）开盘跌1.25%，报1.818元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘跌0.75%，中微公司跌0.99%，拓荆科技跌4.46%，长川科技跌2.35%，沪硅产业跌1.38%，华海清科跌0.48%，中科飞测跌2.69%，南大光电跌0.40%，安集科技跌1.40%，芯源微跌0.05%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为83.98%，近一个月回报为19.06%。