2月2日，半导体设备ETF万家（159327）开盘跌1.74%，报2.151元。半导体设备ETF万家（159327）重仓股方面，北方华创开盘跌0.75%，中微公司跌0.99%，拓荆科技跌4.46%，长川科技跌2.35%，沪硅产业跌1.38%，华海清科跌0.48%，中科飞测跌2.69%，南大光电跌0.40%，安集科技跌1.40%，芯源微跌0.05%。

半导体设备ETF万家（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为吴宜蓉，成立（2024-07-24）以来回报为119.08%，近一个月回报为19.23%。