2月2日，半导体设备ETF（561980）开盘跌1.15%，报2.319元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，中微公司开盘跌0.99%，北方华创跌0.75%，寒武纪跌0.79%，中芯国际跌1.28%，海光信息跌1.68%，拓荆科技跌4.46%，长川科技跌2.35%，华海清科跌0.48%，中科飞测跌2.69%，南大光电跌0.40%。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为135.16%，近一个月回报为14.52%。