科创半导体设备ETF（588710）成立于2025年5月26日，基金全称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为科半导体。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。科创半导体设备ETF（588710）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止1月29日，科创半导体设备ETF（588710）最新份额为9.80亿份，最新规模为18.31亿元。回顾2025年12月31日，科创半导体设备ETF（588710）份额为5.70亿份，规模为8.86亿元。即该基金今年以来份额增加71.89%，规模增加106.65%。

流动性方面，截止1月30日，科创半导体设备ETF（588710）近20个交易日累计成交金额65.32亿元，日均成交金额3.27亿元。

科创半导体设备ETF（588710）现任基金经理为李沐阳。李沐阳自2025年5月26日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益87.22%。

最新定期报告显示，科创半导体设备ETF（588710）重仓股包括拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中微公司、中科飞测、安集科技、芯源微、天岳先进、华峰测控、盛美上海，持仓占比如下。

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688072拓荆科技10.08%27.06万8931.15万688120华海清科9.63%56.88万8537.20万688126沪硅产业9.35%383.12万8290.67万688012中微公司8.75%28.45万7758.47万688361中科飞测8.33%48.28万7386.74万688019安集科技6.65%27.04万5893.54万688037芯源微6.19%36.95万5487.49万688234天岳先进4.93%49.13万4366.65万688200华峰测控4.67%21.74万4135.50万688082盛美上海4.39%22.08万3887.69万