目前网传的中国EUV4种技术路径： 1、华为 LDP激光诱导放电等离子体光源光刻机 2、长春光机所 DPP（气体放电等离子体）- EUV 3、中芯国际&上海光机所 LPP-EUV（即ASML目前的方案） 4、清华大学&雄安 SSMB（稳态微聚束）-EUV 相关个股：中芯国际 港股 00981 近半年涨幅14.8%
目前网传的中国EUV4种技术路径： 1、华为 LDP激光诱导放电等离子体光源光刻机 2、长春光机所 DPP（气体放电等离子体）- EUV 3、中芯国际&上海光机所 LPP-EUV（即ASML目前的方案） 4、清华大学&雄安 SSMB（稳态微聚束）-EUV 相关个股：中芯国际 港股 00981 近半年涨幅14.8%
评论列表