荷兰估计要难受了,中国有了自己的光刻机!
全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。
荷兰人谨遵美国的命令,一直不肯把最先进的光刻机卖给我们。以为这样就能阻止我们在半导体和芯片领域内的发展。
近日,位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来好消息。由浙大量子研究院相关团队自主研发的新一代 100kV 电子束光刻机 “羲之”,已正式进入应用测试阶段。
这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节,它通过高能电子束在硅基上 “手写” 电路,精度达到 0.6nm,线宽 8nm,可灵活修改设计无须掩膜版,如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画,特别适合芯片研发初期的反复调试。
长期以来,光刻机市场一直被荷兰巨头 ASML 所垄断。尤其是最先进的 EUV 光刻机,由于美国的出口限制,ASML 一直无法卖给中国。
即便如此,中国市场对 ASML 的 DUV 光刻机需求依然旺盛。2024 年第二季度,ASML 的 DUV 光刻机销售额中,中国大陆占比接近一半。
然而,美国的限制并未阻止中国在半导体领域的发展,反而促使中国加大自主研发的力度。
这台国产电子束光刻机的诞生,不仅打破了国际技术垄断,更标志着中国在半导体设备领域迈出了重要一步。它的精度比肩国际主流设备,甚至在某些方面具有独特优势。
例如,无需掩膜版的设计,大大降低了芯片研发的成本和时间。对于量子芯片等新兴领域,这种灵活性尤为重要。
荷兰 ASML 此前一直依赖中国市场,但在美国的压力下,不得不限制对中国的出口。然而,中国的自主研发能力正在改变这一局面。
随着国产光刻机的不断突破,中国在半导体领域的自给自足能力将不断提升,对进口设备的依赖将逐渐减少。
这台光刻机的应用前景十分广阔。除了量子芯片,它还可用于新型半导体材料的研发。例如,中科院上海微系统与信息技术研究所的研究人员,利用类似技术构建了碳化硅片上异质集成量子光源,为光量子网络的发展提供了新的解决方案。
中国在半导体领域的突破,不仅是技术上的胜利,更是对国际技术封锁的有力回应。荷兰 ASML 或许没有想到,他们的限制反而激发了中国的创新能力。如今,中国有了自己的 “中国刻刀”,在半导体和芯片领域的发展将更加自主、更加快速。
未来,随着国产光刻机技术的不断完善,中国有望在半导体设备领域实现更大的突破。这不仅将推动中国半导体产业的发展,也将对全球半导体格局产生深远影响。
荷兰 ASML 可能需要重新审视自己的市场策略,因为中国正在成为半导体领域的重要力量。