6月16日，截止午间收盘，科创半导体设备ETF（588710）跌0.60%，报0.986元，成交额222.22万元。科创半导体设备ETF（588710）重仓股方面，华海清科截止午盘涨1.45%，中微公司涨0.62%，拓荆科技跌0.85%，安集科技跌4.31%，芯源微涨0.31%，中科飞测涨0.55%，华峰测控跌1.65%，盛美上海跌1.07%，富创精密涨0.51%，中芯国际跌0.17%。

科创半导体设备ETF（588710）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华泰柏瑞基金管理有限公司，基金经理为李沐阳，成立（2025-05-26）以来回报为-0.94%。

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