一台机器低调亮相，上面汉字令欧洲不寒而栗：ASML大势已去？
近期，一台机器图片在网上悄然流传，据上面的汉字显示，这是一台EUV物镜装调干涉仪。据说这是一台用干涉法精密装配EUV光刻机物镜的仪器。具体原理是利用见光的双缝干涉实验。物镜的精密装配解决了，光源和双工台解决了，基本上核心技术算是全部突破了，就等系统集成出结果了。
这台仪器物镜中各个反射镜位置的精确对准，将总体波像差调到最小，才能实现极高分辨率，刻蚀最小的花样，这算是一个极大的进步了。还有消息说，国产EUV4月份首先在存储芯片调试使用，如果一切顺利将在8、9月纷大规模量产。物镜据说是科美的，光源还是长光的，虽成本高但很稳定，哈工只是备选，解决5纳米的成品产率问题。有一点是一点吧。实事求是的说，如果在2035年前能见到小规模商用就远超预期了。
如果ASML继续跟随美国的步伐，一旦东大的EUV研制成功，对荷兰来说无异于迎来灭顶之灾。到时候，以东大的工业能力，可以迅速把EUV做到白菜价，然后在国内大规模铺开。届时，高端芯片将不再是东大的最后一个瓶颈。
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