01真空泵种类

真空泵种类繁多，根据工作原理和达到的真空度，主要可分为以下几大类：

通过将气体从进气口吸入并压缩，从排气口排出，从而将气体持续抽走。

变容积式（正排量泵）：通过周期性改变泵腔容积来吸入、压缩和排出气体。

旋片泵：最常见的前级泵（粗抽泵）。结构简单，维护方便。可达到低真空（1×10⁻² mbar）。

活塞泵/往复泵：耐用，适用于恶劣环境。常用于低真空、大抽速场合。

滑阀泵：比旋片泵更耐用，抽速更大，常用于工业中真空冶炼、干燥等。可达到中真空。

螺杆泵：无油干式泵，泵腔内无接触，可处理含粉尘、可凝性蒸汽的气体，是现代半导体和化工工艺的常用前级泵。

罗茨泵（增压泵）：本身不能单独排气，需与前级泵串联。在中等真空下具有极高的抽速。无内部压缩。

爪式泵：干式泵，原理类似罗茨泵，但转子为爪型，有内部压缩阶段，效率高。

涡旋泵：干式泵，结构紧凑，运行安静，无油蒸汽污染。常用于实验室、分析仪器、小型系统。

动量传输式：通过高速射流或叶片将动量传递给气体分子，使其被带向排气口。

扩散泵：利用高速定向的油或硅油蒸汽流携带气体分子，可获得高至超高真空（10⁻⁶ - 10⁻⁹ mbar）。需搭配前级泵使用。有油污染风险。

涡轮分子泵：通过高速旋转的多级动叶片和静叶片组合，定向打击气体分子，获得清洁的高真空和超高真空（10⁻⁸ - 10⁻¹¹ mbar）。是现代科研和高端工业的核心高真空泵。

通过物理或化学方式将气体分子吸附或冷凝在泵内表面。

低温泵（冷泵）：利用低温（如4.2K液氦或20K制冷机）冷板将气体冷凝、吸附，能获得清洁的超高真空（10⁻¹⁰ mbar以下），且抽速极大。是最高真空能力的代表，用于半导体、粒子加速器等。

吸附泵：利用多孔材料（如分子筛）在低温下的物理吸附作用抽气，无油，用于获得清洁的前级真空。

溅射离子泵：利用电场电离气体分子，并用溅射的钛膜将其吸附。无运动部件，无油，用于维持超高真空。

油封式/有油泵：如旋片泵、滑阀泵、扩散泵。需要真空油密封、润滑和冷却。存在油蒸汽返流和污染的风险。

干式泵：如螺杆泵、涡旋泵、爪式泵、分子泵。泵腔内无油，可处理工艺气体，无油污染。是现代洁净工艺的主流选择。

02维修保养要点

真空泵是精密设备，良好的维护是保证其性能、寿命和工艺稳定性的关键。不同泵型差异大，但核心原则相通。

工作环境：保持清洁、通风、无振动。检查泵体温度、振动和噪音是否异常。

油位与油质（针对油泵）：

定期检查油位，保持在视窗规定范围内。

定期换油！这是最重要的保养。旧油会乳化、裂解、污染，导致极限真空变差、泵体腐蚀。换油周期请严格参照手册（通常为500-2000工作小时）。

使用规定牌号的专用真空泵油。

进气口过滤器：定期清洁或更换，防止异物进入泵腔。

排气过滤器/油雾分离器：定期更换，减少油烟排放，维持系统洁净和泵性能。

冷却系统：确保水冷管路畅通，水温正常；风冷散热器保持清洁。

皮带与联轴器：检查皮带张紧度、磨损情况（如有），检查联轴器对中与磨损。

旋片泵/滑阀泵：

重点在于油和滤芯。

检查并清理气镇阀（用于抽除可凝性蒸汽，防止油乳化）。

长期停用后启动，应手动盘车数圈。

干式泵（螺杆/爪式等）：

核心是保持泵腔清洁。根据工艺气体性质，可能需要定期进行“泵腔清洗”（使用特定溶剂或气体吹扫）。

检查并清理进气口和排气口的粉尘过滤器。

监测轴承温度与振动，定期更换轴承润滑油（与泵腔隔离的外部轴承）。

涡轮分子泵：

避免任何碰撞和剧烈振动！搬运、安装需极其小心。

确保在规定的转速下启动和停止，遵循控制器程序，尤其是停电时的后备电源保障，防止高速转子失速损坏。

定期检查轴承状态和前置过滤器。

达到寿命后需返厂更换轴承和动平衡。

扩散泵：

定期更换泵油，清洗泵胆。

确保冷却水充足，防止泵体过热。

严格按照操作规程加热和冷却，防止泵油氧化。

低温泵：

定期进行再生操作，以清除吸附的气体。

监测制冷机运行参数和再生周期，异常变化可能预示故障。

保持冷帽的清洁，避免触摸。

记录参数：详细记录故障现象（极限真空下降、抽速变慢、噪音、振动、油颜色等）。

逐步排查：从简到繁。先检查外部因素：电源、管路、阀门、密封件（O型圈、法兰连接）、冷却、油位油质、过滤器等。

使用专业工具：如真空计、检漏仪（氦质谱检漏仪）是诊断系统的必备工具。

寻求专业支持：对于内部机械故障（如轴承损坏、转子磨损、叶片卡死）、高精度部件（如分子泵轴承）的更换，建议联系专业维修工程师或原厂服务。

总结：真空泵的维护保养具有极强的专业性。最重要的准则是：详细阅读并遵守设备制造商提供的操作与维护手册，建立并执行定期的预防性维护计划。 正确的保养能极大减少意外停机，延长泵的使用寿命，保障整个真空系统的稳定运行。