光刻机国产化加速！6大核心环节龙头全梳理，谁是下一个潜力股？
1. 整机制造：上海电气、张江高科主导集成，银合科技、奥普光电夯实精密部件基础。
2. 光刻胶：南大光电、彤程新材实现量产，晶瑞电材、雅克科技攻坚ArF高端品。
3. 光源系统：英诺激光、茂莱光学握核心光源，福晶科技、永新光学协同开发光学模块。
4. 光学组件：江丰电子、苏大维格供高精度器件，炬光科技、同飞股份解决集成与热管理。
5. 多重曝光：冠石科技、至纯科技升级工艺，菲利华、精科电子攻关7nm及以下方案。
6. 洁净设备：蓝英装备、美埃科技造超净环境，国林科技、安达智能保障工艺稳定。
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