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光刻机和光刻胶作为半导体制造的核心环节与关键材料，技术突破与市场发展对半导体产业具有决定性影响。
在国产替代浪潮的推动下，国内相关企业正加速技术攻关与产能扩张，部分优质企业有望实现业绩翻倍增长。
全球市场：寡头垄断，技术壁垒高筑：全球光刻机市场由ASML、Nikon、Canon三大巨头垄断，其中ASML在EUV光刻机领域占据绝对霸主地位，单台EUV光刻机价格超1.8亿欧元。光刻胶市场同样呈现寡头格局，日本企业（JSR、东京应化、信越化学等）合计占据全球75%以上份额，尤其在ArF、EUV等高端光刻胶领域垄断程度超90%。技术壁垒方面，光刻机需突破光源波长缩短、数值孔径提升等难题，光刻胶则需攻克树脂合成、光酸剂配比、缺陷控制等关键技术。
国内市场：政策驱动，国产替代提速：我国作为全球最大半导体消费市场，光刻胶需求爆发式增长，但国产化率不足20%，高端领域（如ArF、EUV）基本依赖进口。政策层面，国家将半导体材料国产替代上升至战略高度，通过大基金投资、研发补贴、税收优惠等措施支持产业发展。下游晶圆厂（中芯国际、长江存储等）加速扩产，2025年国内12英寸晶圆产能预计增长25%，为国产光刻胶提供验证与放量机会。
本文精选10家在光刻机与光刻胶领域具有核心竞争力的公司，从技术突破、产能布局、客户认证、财务表现等维度展开深度分析，挖掘最具成长潜力的投资公司。为投资者提供参考。注意：以下内容绝不构成任何投资建议、引导或承诺，仅供交流研讨。
技术突破：
通过参股徐州博康，华懋科技切入光刻胶全产业链，覆盖单体、树脂、光酸剂及成品。徐州博康是国内极少数打通光刻胶上游材料的企业，KrF、ArF光刻胶已通过国内12英寸晶圆厂验证并量产。自主研发光刻胶单体近70款，2022年以来新开发20款单体、18款树脂、50款光敏剂，产品性能达到国际先进水平。
产能布局：
与徐州博康合资设立东阳华芯，投资20亿元建设“年产8000吨光刻材料项目”，聚焦高端光刻胶及配套材料规模化生产，预计2026年全面达产。厦门工厂规划产能30亿元，越南工厂规划产能20亿元，产能利用率超80%。
客户认证：
徐州博康光刻胶产品已进入中芯国际、长江存储等头部客户供应链，2022年以来形成销售的ArF光刻胶有5款，KrF光刻胶有15款。
财务表现：
光刻胶业务营收占比逐步提升，成为第二增长曲线。
二，艾森股份：先进封装光刻胶国产替代先锋技术突破：
国内先进封装及晶圆制造领域电子化学品核心供应商，已量产先进封装光刻胶、PSPI光刻胶等；在研高深宽比KrF光刻胶、ICA化学放大光刻胶等。2024年正性PSPI光刻胶实现首例国产化突破，打破美日企业垄断，目前小量产中。
产能布局：
重点投入先进封装及晶圆制造先进制程领域。规划建设高端光刻胶生产线，满足晶圆厂扩产需求。
客户认证：
产品覆盖集成电路、OLED显示面板等关键应用，已进入多家晶圆客户验证阶段。先进封装用光刻胶市场占有率持续攀升，为国产唯一供应商。
财务表现：
2025年前三季度研发投入累计达4827.70万元，同比增幅40.26%，研发费用占营收比例为10.99%。核心优势集中在先进封装领域，光刻胶、电镀液产品聚焦高技术壁垒方向。
三，大族激光：光刻机领域破冰者，接进式光刻机已投入市场技术突破：
扫描步进投影曝光技术沿用30多年，普遍用于≤0.18μm工艺，掩膜板曝光比例为四比一，曝光区域26×33mm。突破光刻机核心技术，实现接进式光刻机市场化应用。
产能布局：
紧跟国内芯片代工产业链生态，中芯国际、华虹集团、晶合集成等企业跻身世界芯片代工前十，为大族激光提供广阔市场空间。规划扩大光刻机产能，满足国内晶圆厂扩产需求。
客户认证：
与中芯国际、华虹集团等头部晶圆厂建立合作关系，光刻机产品逐步通过客户验证。
财务表现：
受益于国内芯片代工产业链成熟，光刻机业务营收快速增长，成为新的业绩增长点。
四，雅克科技：收购实现光刻胶业务快速发展技术突破：
通过收购韩国株式会社Cotem 55%股份，切入LCD光刻胶领域，产品技术指标达到国际先进水平。半导体领域供应ArF、KrF光刻胶用树脂，2025年获得“一种基于光刻胶单体的彩色光刻胶及彩色滤光片”发明专利。
产能布局：
光刻胶业务覆盖显示面板和半导体两大领域，TFT-PR光刻胶、RGB彩色光刻胶等产品已实现规模化生产。规划扩大光刻胶产能，提升高端产品占比。
客户认证：
显示面板领域客户涵盖京东方、华星光电、LG Display等头部厂商；半导体领域KrF光刻胶已批量供应中芯国际，ArF光刻胶进入长江存储验证阶段。
五，芯碁微装：直写光刻设备龙头，先进封装&先进显示齐发力技术突破：
直写光刻技术无需掩膜版，可直接将版图信息转移到涂有光刻胶的衬底上，解决偏移问题能力强，具备自动套刻、背部对准、智能纠偏等功能。在RDL、Bumping和TSV等制程工艺中优势明显，应用于OLED显示面板和FPD掩膜版制版。
产能布局：
推出CO2&UV激光钻机新品，丰富产品矩阵，为PCB不同细分领域客户提供差异化解决方案。规划扩大直写光刻设备产能，满足先进封装与显示面板领域需求。
客户认证：
与国内头部晶圆厂、显示面板厂建立合作关系，直写光刻设备逐步通过客户验证。
财务表现：
受益于先进封装与显示面板领域需求增长，直写光刻设备营收快速增长，成为核心业务板块。
六，彤程新材：全产业链布局的KrF光刻胶龙头（潜力）技术突破：
通过收购北京科华，实现光刻胶全品类布局，覆盖g线、i线、KrF、ArF及EUV光刻胶。KrF光刻胶国内市占率超50%，ArF光刻胶通过28nm产线验证，进入小批量试产阶段。
产能布局：
潜江基地规划1.1万吨光刻胶产能，其中KrF光刻胶产能3000吨/年，ArF光刻胶产能逐步建设中。推进光刻胶配套树脂产能扩张，完善全产业链布局。
客户认证：
KrF光刻胶批量供应中芯国际、长江存储等晶圆厂，ArF光刻胶进入头部客户供应链。
财务表现：
2025年上半年半导体光刻胶营收近2亿元，同比增长超50%，毛利率达48%。
七，万润股份：光刻胶树脂国产化先锋技术突破：
研发KrF光刻胶用PHS树脂，各项关键指标达到国际先进水平，建成国内首条百吨级量产线。光刻胶树脂产品已向南大光电等头部光刻胶企业批量供货。
产能布局：
规划扩大光刻胶树脂产能，满足国内光刻胶企业需求。推进EUV光刻胶用单体研发，提升高端产品占比。
客户认证：
与国内主要光刻胶企业建立稳定合作关系，光刻胶树脂产品进入Intel、JSR等国际巨头供应链。
财务表现：
光刻胶材料业务营收快速增长，成为新的业绩增长点。
八，腾景科技：光刻机光学元件核心供应商技术突破：
专注于光刻机光学元件研发与生产，产品包括透镜、反射镜、照明器等，技术指标达到国际先进水平。与ASML、Nikon等国际光刻机巨头建立合作关系。
产能布局：
规划扩大光刻机光学元件产能，满足国内光刻机企业需求。推进高端光学元件研发，提升产品附加值。
客户认证：
产品已进入ASML、Nikon等国际光刻机企业供应链，客户稳定性强。
财务表现：
受益于光刻机市场需求增长，光学元件业务营收快速增长。
九，鼎龙股份：CMP抛光垫与光刻胶双轮驱动技术突破：
国内CMP抛光垫龙头，同时布局光刻胶业务，产品覆盖I线、KrF、ArF光刻胶。光刻胶研发取得突破，部分产品已进入客户验证阶段。
产能布局：
规划扩大CMP抛光垫与光刻胶产能，满足国内晶圆厂需求。推进光刻胶配套材料研发，提升产业链协同性。
客户认证：
CMP抛光垫产品已进入中芯国际、长江存储等晶圆厂供应链。光刻胶产品逐步通过客户验证，订单规模持续增长。
财务表现：
CMP抛光垫业务营收稳定增长，光刻胶业务成为新的增长点。
十，凯美特气：电子特气与光刻胶配套材料供应商技术突破：
国内电子特气龙头，同时布局光刻胶配套材料，如高纯溶剂、显影液等。产品技术指标达到国际先进水平，满足高端光刻胶生产需求。
产能布局：
规划扩大电子特气与光刻胶配套材料产能，满足国内光刻胶企业需求。推进高端产品研发，提升产品附加值。
客户认证：
电子特气产品已进入中芯国际、长江存储等晶圆厂供应链。光刻胶配套材料逐步通过客户验证，订单规模持续增长。
财务表现：
电子特气业务营收稳定增长，光刻胶配套材料业务成为新的增长点。
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