国产28nm浸没式DUV光刻机成熟度大幅提升,已接近量产条件。。。
国产EUV光刻机计划明年试产,除光源系统独立开发外,其它部分在DUV光刻机上优化而来。。。
纯国产28nm产线同时在推,除光刻机外,SACVD,HDPCVD,高深宽比,电镀,OCD,高中大束流等还在搞定,以上关键设备国内设备商正在攻关。
国内7nm产能超过2万,7nm线包括很多美国设备,目前这些设备的零部件被全面封锁,短期问题不大,中长期问题很大。。。
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国产EUV光刻机计划明年试产,除光源系统独立开发外,其它部分在DUV光刻机上优化而来。。。
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国内7nm产能超过2万,7nm线包括很多美国设备,目前这些设备的零部件被全面封锁,短期问题不大,中长期问题很大。。。
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